具有直壁或傾斜側壁的二元
光柵已成為許多
光學應用中的關鍵部件。 感謝
納米壓印技術,使小尺寸的光柵的制造已經變得可行。
VirtualLab Fusion采用內置的傅里葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA)和不同的
優(yōu)化算法,為二元光柵提供了完整的用戶友好的設計工作流程,和隨后的制造誤差分析,如圓邊效應。
t9f4P^V` ^H\-3/si* 高效偏振無關透射光柵的分析與設計 (IoPU+1b N:PA/V^z lt2Nwt0bv 我們演示了如何嚴格分析二元光柵的偏振相關特性; 以及如何優(yōu)化二元
結構以獲得高偏振無關的
衍射效率。
XoH[MJC !Z+*",]_ 傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與公差分析 Dvq*XI5 ERX|cc }(g+: