[技術(shù)]構(gòu)造二維周期性光柵結(jié)構(gòu) [復(fù)制鏈接]

復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應(yīng)用于光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion 軟件用傅立葉模態(tài)法（FMM,或者RCWA）一種簡易的仿真方法來嚴(yán)格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面，可以設(shè)置堆棧的幾何圖形，從而生成復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。• 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類型 − 基于界面定義的類型 Ih1|LR/c  
• 計算之前修改高級選項和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。 (RXS~8  
• 提示：在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中，表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的，層狀光柵（一維周期性）被稱作二維光柵。 c#b:3dXx9  
B(l-}|m_  
初始化光柵工具箱 tLcEl'Eo  
• 初始化 $gp!w8h  
− 開始菜單欄 (Start) @<_`2eW'/R  
光柵菜單欄(Grating)  Qrz4}0  
通用光柵光路圖（三維光柵） General Grating Light Path   Diagram(3D Gratings) :k46S<RE  
• 提示：對于特殊類型的光柵，例如柱形光柵， _ ^7|!(Sz  
可以在光柵工具箱中直接點擊柱形光柵光路 Wn!G.(Jq  
圖（三維光柵）(Pillar Grating Light GL
KO]y  
Path Diagram(3D Gratings)) rdj@u47  
bO49GEUT _  
設(shè)置光柵結(jié)構(gòu) #/j