微納制造技術(shù)是指尺度為毫米、微米和
納米量級的零件，以及由這些零件構(gòu)成的部件或
系統(tǒng)的設(shè)計、加工、組裝、集成與應(yīng)用技術(shù)。傳統(tǒng)“宏”機(jī)械制造技術(shù)已不能滿足這些“微”機(jī)械和“微”系統(tǒng)的高
精度制造和裝配加工要求，必須研究和應(yīng)用微納制造的技術(shù)與方法。微納制造技術(shù)是微
傳感器、微執(zhí)行器、微
結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ)。
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