[技術(shù)]JCMSuite應(yīng)用：光場通過六方晶胞的近場分析 [復(fù)制鏈接]

這是一個簡單的二維光柵的例子，具有雙重周期(六方)晶格。三維單元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含兩個不同的菱形(平行六面體)，位于襯底上，被背景材料包圍。我們選擇了一個直角線單元晶胞(最小原始單元格)來避免結(jié)構(gòu)的計算域邊界的不利切割。案例中的材料選擇為鉻(菱形)，玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 +I.{y  
0)vX  
光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當(dāng)波長為193nm時，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度 ZoqE,ucH  
<5|:QLqy  
Qyj:!-o  
=#I/x=
L:  
后處理傅里葉變換計算透射衍射級次的振幅。 9$R}GK