光學非球面新型檢測原理與技術

本書結(jié)合光學測量技術的最新發(fā)展，針對光學非球面，尤其是大口徑非球面和自由曲面的檢測技術進行了詳細的探討，主要涉及技術起源與發(fā)展、原理、具體的實驗裝置，以及相關的測量方法和精度。全書共分5章，第1章介紹了光學非球面的基本概念、描述及評價方法，并簡要介紹了光學非球面檢測的經(jīng)典方法； 第2章介紹了基于激光束偏轉(zhuǎn)與逆向哈特曼的光學非球面幾何檢測方法； 第3章詳細介紹了部分補償法和數(shù)字莫爾移相干涉法； 第4章重點介紹了基于干涉檢測法的非球面參數(shù)誤差測量； 第5章探討了非球面干涉檢測動態(tài)范圍擴展的相關技術。

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目錄

第1章光學非球面測量概述

1.1光學非球面的應用

1.2光學非球面的分類及數(shù)學描述

1.2.1非球面分類

1.2.2非球面方程

1.3光學非球面檢測及評價指標

1.3.1面形誤差和參數(shù)誤差

1.3.2幾何像差與澤尼克多項式

1.4光學非球面檢測方法

1.4.1接觸式測量法

1.4.2幾何檢測法

1.4.3干涉檢測法

參考文獻

第2章激光束偏轉(zhuǎn)法與逆向哈特曼波前檢測法

2.1激光束偏轉(zhuǎn)法

2.1.1測量光路方案

2.1.2光斑位置測量

2.1.3斜率計算

2.2逆向哈特曼波前檢測法

2.2.1逆向哈特曼波前檢測法測量原理

2.2.2測量分辨率、測量靈敏度及斜率測量范圍

參考文獻

第3章部分補償數(shù)字莫爾移相干涉法

3.1概述

3.2部分補償法

3.2.1基本原理

3.2.2非球面部分補償鏡設計

3.2.3自由曲面部分補償鏡設計

3.3數(shù)字莫爾移相干涉法

3.3.1虛擬干涉儀的建立

3.3.2莫爾合成與濾波

3.4系統(tǒng)標定和校正

3.4.1干涉儀標定

3.4.2部分補償鏡標定

3.4.3被測非球面標定

參考文獻

第4章非球面參數(shù)誤差干涉測量

4.1相關概念

4.1.1非球面的法線像差

4.1.2斜率非球面度

4.2基于最佳補償位置的非球面參數(shù)誤差測量原理

4.2.1最佳補償位置的定義

4.2.2部分補償干涉系統(tǒng)的最佳補償位置理論模型

4.2.3非球面參數(shù)誤差與最佳補償位置的關系

4.2.4非球面參數(shù)誤差測量原理

4.3非球面參數(shù)誤差測量方法

4.3.1非球面參數(shù)誤差測量系統(tǒng)

4.3.2非球面參數(shù)誤差測量流程

4.4非球面參數(shù)誤差測量系統(tǒng)及實驗結(jié)果

4.4.1實驗系統(tǒng)搭建

4.4.2實驗結(jié)果與分析

參考文獻

第5章非球面干涉檢測動態(tài)范圍擴展研究

5.1高陡度非球面檢測的意義

5.2兩步載波拼接干涉測量

5.2.1數(shù)字莫爾移相法的局限

5.2.2兩步載波拼接干涉原理及關鍵技術

5.2.3仿真分析

5.2.4實測驗證

5.2.5TCSM算法應用討論

5.3數(shù)字莫爾-牛頓迭代優(yōu)化干涉測量

5.3.1數(shù)字莫爾-牛頓迭代解相原理

5.3.2仿真分析與比較

5.3.3實測驗證

參考文獻

索引