摘要
Fi+v:L| ?lJm}0> 光柵結(jié)構(gòu)廣泛應(yīng)用于各種
光學(xué)應(yīng)用場景，如
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)、脈沖整形等。快速物理光學(xué)軟件VirtualLab Fusion通過使用傅里葉模態(tài)方法(FMM，也稱為RCWA)，為任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析提供了通用和方便的工具。為此，復(fù)雜的一維或二維周期結(jié)構(gòu)可以使用界面和調(diào)制介質(zhì)進(jìn)行配置，這允許任何類型的光柵形貌進(jìn)行自由的配置。在此用例中，詳細(xì)討論了衍射級次的偏振態(tài)的研究。
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.0l 0*~[ < KF|QE 任務(wù)說明
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F V8 K_xj }Yt/e-Yg%r 簡要介紹衍射效率與偏振理論
*ip2|2G$ 某個衍射級次（𝑛）的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個特定的級次中。它是由復(fù)數(shù)值瑞利系數(shù)計算出來的，瑞利系數(shù)包含了每個衍射級次（矢量）電磁場的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對光柵的特征值問題進(jìn)行嚴(yán)格分析的結(jié)果。
*/iD68r|- 如果在TE/TM坐標(biāo)系(CS)中給出瑞利系數(shù)，則可以計算衍射效率：
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X / 其中，n_in/n_out為覆蓋層和襯底層的折射率，ϑ_in/ϑ_out為所分析的階次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示輻射光的振幅。
^2L\Y2 如果瑞利系數(shù)沿𝑥、𝑦和𝑧給出瑞利系數(shù)，則必須應(yīng)用以下方程：
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