摘要
$CRm3#+
~ V"[ g.%%Y 光柵結(jié)構(gòu)廣泛應(yīng)用于各種
光學(xué)應(yīng)用場景，如
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)、脈沖整形等�？焖傥锢砉鈱W(xué)軟件VirtualLab Fusion通過使用傅里葉模態(tài)方法(FMM，也稱為RCWA)，為任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析提供了通用和方便的工具。為此，復(fù)雜的一維或二維周期結(jié)構(gòu)可以使用界面和調(diào)制介質(zhì)進行配置，這允許任何類型的光柵形貌進行自由的配置。在此用例中，詳細(xì)討論了衍射級次的偏振態(tài)的研究。
<h!_>:2L aJSO4W)P 
SDC4L <! , xw#NG6 任務(wù)說明
2\R'@L*
w{{gu1#]G 
2my_
