摘要 k4PXH p\P) d#HlO} 對(duì)于許多
光學(xué)應(yīng)用來(lái)說(shuō),抑制元件表面的反射是一個(gè)引人關(guān)注的問(wèn)題。一種非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
納米和微米
結(jié)構(gòu),這些結(jié)構(gòu)受到自然界(如蛾眼)的啟發(fā)。這些結(jié)構(gòu)的特征尺寸處于亞
波長(zhǎng)領(lǐng)域,具有獨(dú)特的波長(zhǎng)和
角度依賴性質(zhì)。本文介紹了在
VirtualLab Fusion中分析和設(shè)計(jì)確定性抗反射結(jié)構(gòu)的方法。
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0J Zi?:< H} 設(shè)計(jì)任務(wù) ,8.$!Zia 8VtRRtl R=<%! 連接建模技術(shù):蛾眼結(jié)構(gòu) Zts1BWL[ V.%LA.8 klAvi%^jE 光柵階數(shù)分析器 j}O qWX>/ |xF!3GGms v@4vitbG9 元件內(nèi)場(chǎng)分析器:FMM H$V`,=H w^9< I] {FX]1: 參數(shù)運(yùn)行 D\Y,2!I :uJHFF xg )HcLpoEi 參數(shù)優(yōu)化 j#U,zsv: AhkDLm+ $;&l{=e2) 模擬結(jié)果 7GTDe'T ol K+|nR 通過(guò)計(jì)算器進(jìn)行參考測(cè)量 _K&Hiz/' {V pk