摘要 RhQOl9 }kOhwT8sI yY"%6k,ZB 對(duì)于許多
光學(xué)應(yīng)用來(lái)說(shuō),抑制元件表面的反射是一個(gè)引人關(guān)注的問(wèn)題。一種非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
納米和微米
結(jié)構(gòu),這些結(jié)構(gòu)受到自然界(如蛾眼)的啟發(fā)。這些結(jié)構(gòu)的特征尺寸處于亞
波長(zhǎng)領(lǐng)域,具有獨(dú)特的波長(zhǎng)和
角度依賴性質(zhì)。本文介紹了在
VirtualLab Fusion中分析和設(shè)計(jì)確定性抗反射結(jié)構(gòu)的方法。
CJu;X[6 _K;rM7 設(shè)計(jì)任務(wù) j|[s?YJl kW,yZ.?f ]a:kP, 連接建模技術(shù):蛾眼結(jié)構(gòu) 4a3f!G$ !Uj !Oy oOUVU}H 光柵階數(shù)分析器 2j"%}& vuAAaKz s-C.+9 元件內(nèi)場(chǎng)分析器:FMM huq6rA/i 6u.b?_u uj:w^t ][ 參數(shù)運(yùn)行 ,LMme}FFeb 71A{" M>]%Iu 參數(shù)優(yōu)化 qC6Q5F C/cGr)|8% F)%; gzs 模擬結(jié)果 {T^'&W>8G8 9
/zz@ 通過(guò)計(jì)算器進(jìn)行參考測(cè)量 NeK:[Q@je jOuv\$ ivagS\Q 結(jié)構(gòu)內(nèi)的場(chǎng) @O3w4Zs FSBCk I|LS_m HOUyB's' 在參數(shù)空間中掃描以獲取初始解決方案 7"[lWC!As5 q2f/#"k 2fLd/x~ 初始解決方案 #1 的參數(shù)優(yōu)化 _Ng*K]0/E MkYem6 '|q:h 最終設(shè)計(jì) #1 的性能分析 %fyb?6?Y $}F]pa[ 初始解決方案 #2 的參數(shù)優(yōu)化