摘要 R1{"
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H}dsd=yO B&O931E7 元件內(nèi)部場分析器:FMM允許用戶可視化和研究微
結(jié)構(gòu)和
納米結(jié)構(gòu)內(nèi)部的電磁場分布。為此,使用傅立葉模態(tài)法/嚴格耦合波分析(FMM/RCWA)計算周期性結(jié)構(gòu)(透射或反射、電介質(zhì)或金屬)內(nèi)部的場。還可以指定場的哪一部分應(yīng)該可視化:正向模式、反向模式或兩者同時顯示。
]lXTIej`dy *&% kkbA 元件內(nèi)部場分析儀:FMM N6Vn/7I5% <,`=m|z9k P%ev8]2 元件內(nèi)部場分析器:FMM是
光柵光學(xué)裝置的獨有功能,可提供光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部電磁場的可視化。
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~_: 評估模式的選擇 *