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摘要 &BgaFx** abND#t 當(dāng)用近軸光照明時(shí),亞波長光柵僅產(chǎn)生一個衍射級,因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。 J{y@ O DQ)SMqOotw P(`IY+ llzl-2`/ 1. 建模任務(wù) KJd;c. bA)Xjq)Rr zin,yJ md0=6<
}P 2. 結(jié)果 [Z0e$ $spf=t"nh _KFKx3<m! vzw\f z+b~#f3 !o@-kl
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