摘要
6+"gk( h(3-/4 JsMN_%y? }W[=O:p 對(duì)于許多
光學(xué)應(yīng)用來(lái)說(shuō)需要減少表面反射?刂票砻娣瓷涞囊环N非常有效的方法是使用抗反射的
納米或微米
結(jié)構(gòu),啟發(fā)來(lái)源于自然界(蛾眼)。這些具有亞
波長(zhǎng)范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長(zhǎng)和
角度依賴性的獨(dú)特性質(zhì)。在本文中,介紹了
VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)。
KoWG:~>| k,8^RI07@ 設(shè)計(jì)任務(wù)
=UWW(^M#[: 4d}n0b\d Ke]'RfO\ {yEL$8MC 如何
優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的
參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射?
%M`zkA2]J V?`|Ha} 掃描參數(shù)空間以獲取初始解
u6IM~kk>5 IjXxH]2 Ol>/^3a= $
9E"{6;@ 初始解#1的參數(shù)優(yōu)化
&%k_BdlkQ PI,2b(`h_ ~ahu{A4Bw V`YmGo 最終設(shè)計(jì)#1的性能分析
A`>^A]% !x||ObW\H v |pHbX 8YgRJQZ! 初始解#2的參數(shù)優(yōu)化
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