摘要
U|<>xe*|% 55ft ,a 復(fù)雜
光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
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^ 1. 本案例主要說明：
2%| n}V[ 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過：
}~p%e2< - 基于介質(zhì)的定義類型
T*g}^TEh - 基于表面的定義類型
0 +k..l 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
/A+5q\8G 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。
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JBSx c
D .; 2. 光柵工具箱初始化
wD /jN: 初始化
#ro$$I; - 開始→
nvA7e TO6C 光柵→
& Xc=PQ:I 一般光柵光路圖(3D光柵)
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e jR_3K^ 注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。
q8uq %wf ~Kl"V% > 3. 光柵結(jié)構(gòu)配置
l;$FR4}d 首先，必須先定義基底的厚度與
材料 `(DH a=s1 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個所謂的堆棧進(jìn)行定義
F&lH5 堆�？梢愿綄僭诨椎囊粋�(cè)或兩側(cè)。
}57Jn5&' 例如，堆棧選擇附屬在第一表面。
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Xpv<v[a 基于介質(zhì)的定義類型
I`s ~.fZt (例如：柱狀光柵)
8Z y*#[- 1. 堆棧編輯器
#*%? ]B= 在堆棧編輯器中，可以從庫中增加和插入界面和介質(zhì)。
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