摘要
U|<>xe*|% 55ft,a 復(fù)雜
光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用,如
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
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^ 1. 本案例主要說明:
2%|n}V[ 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過:
}~p%e2< - 基于介質(zhì)的定義類型
T*g}^TEh - 基于表面的定義類型
0+k..l 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
/A+5q\8G 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。
3a&HW
JBSx c
D.; 2. 光柵工具箱初始化
wD/jN: 初始化
#ro$$I; - 開始→
nvA7eTO6C 光柵→
&Xc=PQ:I 一般光柵光路圖(3D光柵)
hkRqtpYK BY9Z}/{j e jR_3K^ 注意:對于特殊類型的光柵,如柱狀光柵,可以直接選擇特定的光路圖。
q8uq%wf ~Kl"V%> 3. 光柵結(jié)構(gòu)配置
l;$FR4}d 首先,必須先定義基底的厚度與
材料 `(DHa=s1 在VirtualLab中,光柵結(jié)構(gòu)有一個所謂的堆棧進(jìn)行定義
F&lH5 堆?梢愿綄僭诨椎囊粋(cè)或兩側(cè)。
}57Jn5&' 例如,堆棧選擇附屬在第一表面。
pWn]$HaoG Xpv<v[a 基于介質(zhì)的定義類型
I`s~.fZt (例如:柱狀光柵)
8Zy*#[- 1. 堆棧編輯器
#*%?]B= 在堆棧編輯器中,可以從庫中增加和插入界面和介質(zhì)。
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