摘要
FM=XoMP q lSfPOx;* 高
數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于
光學光刻、
顯微鏡等。因此,在
聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種
鏡頭的
光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照
相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。
Z*R~dHr ?7#{#sj ~#jnkD ~OMo$qt`lP 建模任務(wù)
R5i xG9 \WqC^Di "r=p/"4D $a|>>?8 入射平面波
$0cE iq?Hf 波長 2.08 nm
QYj*|p^x 光斑直徑: 3mm
8Ow#W5_3| 沿x方向線偏振
\'r;1W HHerL%/ 如何進行整個
系統(tǒng)的光線追跡分析?
4~AY:
ib| 如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布?
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