摘要
=zPCrEk0 Bahm]2 高
數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于
光學(xué)光刻、
顯微鏡等。因此,在
聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種
鏡頭的
光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過光場(chǎng)追跡,可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照
相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。
]^7@}Ce_ wv1iSfW 69NeQ$]( Vwf$JdK%&l 建模任務(wù)
A,<E\ 7U"g3a)= 5H9z4-i x?
#A/ 入射平面波
p38-l'{# 波長(zhǎng) 2.08 nm
"m8^zg hL 光斑直徑: 3mm
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沿x方向線偏振
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