摘要
bvs0y7M=' {WT"\Xj>B? 在
激光掃描
系統(tǒng)中,
F-Theta鏡頭通常被設(shè)計用于提供高性能。使用此類
透鏡,在目標(biāo)平面上的聚焦點(diǎn)位移與
焦距和掃描角度的產(chǎn)生成正比。這使得它們成為基于Galvo掃描器的激光
材料處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。在VirtualLab Fusion中掃描源的幫助下,通過測量實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差和不同角度下光斑的大小,分析了給定F-Theta透鏡的性能。
>\[sNCkf w=y!|F ,RDxu7iT ,NPU0IDG> 建模任務(wù)
zZGPA j @D Qg1|m vD^^0-Pk6 WSKG8JT^| 性能評估——光斑直徑測量
ok2$ p zH}u9IR3` vUY?Eb[ .0r5= 性能評估——光斑位置偏差
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