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簡介 S9
p*rk ~ BN_I #8r 本文提出并演示了一種以二維光柵耦出的光瞳擴展（EPE）系統(tǒng)優(yōu)化和公差分析的仿真方法。 pW7#&@AR {uCX F~ v 在這個工作流程中，我們將使用3個軟件進行不同的工作 ，以實現優(yōu)化系統(tǒng)的大目標。首先，我們使用 Lumerical 構建光柵模型并使用 RCWA 進行仿真。其次，我們在 OpticStudio 中構建完整的出瞳擴展系統(tǒng)，并動態(tài)鏈接到 Lumerical 以集成精確的光柵模型。最后，optiSLang 用于通過修改光柵模型來全面控制系統(tǒng)級優(yōu)化，以實現整個出瞳擴展系統(tǒng)所需的光學性能。 |8{c|Qz 3+<f7 本篇文章將分為上下兩個部分。（聯系我們獲取文章附件） 9}
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