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簡介 2(\PsN w! E^{!B]/oP 本文提出并演示了一種以二維光柵耦出的光瞳擴展（EPE）系統(tǒng)優(yōu)化和公差分析的仿真方法。 )'7Qd(4WT Vz-q7*o $S 在這個工作流程中，我們將使用3個軟件進行不同的工作 ，以實現(xiàn)優(yōu)化系統(tǒng)的大目標。首先，我們使用 Lumerical 構(gòu)建光柵模型并使用 RCWA 進行仿真。其次，我們在 OpticStudio 中構(gòu)建完整的出瞳擴展系統(tǒng)，并動態(tài)鏈接到 Lumerical 以集成精確的光柵模型。最后，optiSLang 用于通過修改光柵模型來全面控制系統(tǒng)級優(yōu)化，以實現(xiàn)整個出瞳擴展系統(tǒng)所需的光學(xué)性能。 dOaCdnd~ c}),yQ|!: 本篇文章將分為上下兩個部分。（聯(lián)系我們獲取文章附件） I!kR:Z If &y 5C 概述 87S,6
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