目前，激光位移傳感器按原理可分成激光三角法和激光回波分析法。 激光三角法適合高精度短距離測量，激光回波分析法適用于遠(yuǎn)距離測量。在目前的工業(yè)機(jī)器人應(yīng)用中，一般使用三角測量，這種方式的最高線性度可以達(dá)到1um，分辨率可以達(dá)到0.1um的水平。 F-L!o8o
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三角測量法的原理是將可見紅色激光通過透鏡射到被測物體表面，被物體反射的激光通過接收透鏡，被內(nèi)部的CCD線陣相機(jī)接收。根據(jù)不同的距離，CCD線陣相機(jī)能夠從不同的角度進(jìn)行操作。 接下來“看到”這個光點。 從這個角度和已知的激光和相機(jī)之間的距離，數(shù)字信號處理器可以計算出傳感器和被測物體之間的距離。 aDrF" j
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同時，光束在接收元件的位置經(jīng)過模擬和數(shù)字電路處理，并由微處理器分析測量出相應(yīng)的輸出值，并在用戶設(shè)定的模擬窗口內(nèi)按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號。 如果使用開關(guān)量輸出，將在設(shè)置的窗口內(nèi)打開，在窗口外關(guān)閉。 另外，模擬量和開關(guān)量輸出的檢測窗口可以獨立設(shè)置。 `mar-r_m
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回波分析的規(guī)律是激光發(fā)射器每秒向檢測對象發(fā)射一百萬個激光脈沖并返回接收器。 處理器計算激光脈沖到達(dá)檢測對象并返回接收器所需的時間。 距離值，輸出值是數(shù)千次測量結(jié)果的平均輸出，采用所謂的脈沖時間法測量。 激光回波分析法適用于遠(yuǎn)距離檢測，但測量精度低于激光三角法，最長檢測距離可達(dá)250m。 YP*EDb?f
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激光位移傳感器常用于長度、距離、振動、速度和方向等物理量的測量，以及用于探傷和監(jiān)測大氣污染物。
