水刀引導(dǎo)式激光器是激光器技術(shù)和水流技術(shù)的混合技術(shù)。在這個(gè)獨(dú)一無(wú)二的激光切割工藝中，一個(gè)纖幼線狀水刀被用作光波導(dǎo)，以使高功率激光射在工件上。與傳統(tǒng)激光切割工藝相比，這種方法的主要優(yōu)勢(shì)在于：（1）平行的側(cè)壁；（2）工件的低熱量輸入，歸功于工件在激光脈沖之間的冷卻恰好發(fā)生在它之前被加熱的位置；（3）熔融金屬及時(shí)排出，歸功于水刀的高動(dòng)量。相比與鋸切，這種技術(shù)切割金屬可以達(dá)到無(wú)毛刺效果，施加在工件上的機(jī)械壓力也小得多。
.z,-ThTH@\ |URfw5Hm 水刀引導(dǎo)激光切割系統(tǒng)的圖示見(jiàn)圖1，其中使用的水刀是5至50兆帕的純?nèi)ルx子水和過(guò)濾水。噴嘴是由藍(lán)寶石或鉆石制成，以確保能夠產(chǎn)生長(zhǎng)而穩(wěn)定的水刀。激光束，通過(guò)光纖由激光器傳出，被校準(zhǔn)，經(jīng)過(guò)擴(kuò)束器，然后集中穿過(guò)一個(gè)石英窗口，進(jìn)入噴嘴。耦合單元和平常的光纖耦合單元類似，只除了噴嘴里的光亮度分布是平頂?shù)�，而且沒(méi)有高斯分布。當(dāng)激光進(jìn)入水刀中，光在空氣和水的接口處發(fā)生完全內(nèi)反。
BjH|E@z =T [ P 在切割過(guò)程中，工件被固定在一個(gè)CNC工作臺(tái)上，在水刀引導(dǎo)的激光束下朝著一個(gè)方向移動(dòng)。光頭沿著與之垂直的方向移動(dòng)，只有在為了適應(yīng)不同水壓下的不同噴嘴尺寸的各種工作距離時(shí)，才有必要變動(dòng)工作臺(tái)和工件之間的距離。在切割過(guò)程中不會(huì)變動(dòng)。
,"`20.Lv Z3TCi7,m 五年多以來(lái)，這一工具已經(jīng)在很多加工方面得到應(yīng)用。在這期間，與傳統(tǒng)激光切割技術(shù)相比，LMJ水刀引導(dǎo)激光器在工業(yè)應(yīng)用方面顯示出各種各樣的優(yōu)勢(shì)。
z q</(5H LLTr+@lj 通常，LMJ技術(shù)使用固體Nd:YAG紅外激光器（1064nm,50-200W）。紅外水刀引導(dǎo)激光器應(yīng)用在硅、陶瓷和硬金屬、立方氮化硼、錳鋅系磁芯以及金屬薄膜上有很高的效率。使用這一類型的激光器可獲得優(yōu)于磨鋸方法8倍的切割速度。LMJ系統(tǒng)在諸如GaAs、GaN以及銅這樣的脆而難以機(jī)械加工的材料上具有很高的效率。
swj\X ,{ Dr.eos4 ~ 這些材料對(duì)于去離子水的接觸不敏感。所有的半導(dǎo)體產(chǎn)品都是通過(guò)平版印刷以及濕蝕刻加工生產(chǎn)的，并且經(jīng)常和去離子水以及含水的方法接觸。所以在這些材料的切割過(guò)程中，水的參與是完全可以的。
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pQVU i`sZP#h 因?yàn)榫G光（532nm）的吸收系數(shù)比紅外光稍少，我們做了一個(gè)試驗(yàn)，用200W的綠光激光器，看看在獲得和紅外激光器相同的切割質(zhì)量的情況下是否能夠得到更快的速度。結(jié)果是正面的，200W的綠光激光器完全可以輕易得到更高的速度，特別在半導(dǎo)體工業(yè)，水刀激光器技術(shù)的優(yōu)勢(shì)能夠轉(zhuǎn)化為無(wú)碎片、無(wú)毛刺以及無(wú)破損角，甚至像75微米的芯片那么薄也沒(méi)問(wèn)題。
ompr})c ~%*l>GkP* 迄今為止，這項(xiàng)技術(shù)僅僅使用了紅外和綠光激光器。從而材料適用的范圍限制在對(duì)這些波長(zhǎng)有充足吸收率的材料中。所以，切割透明材料（玻璃、鉆石、藍(lán)寶石、透明聚合物）是很難的，甚至是不可能的。紫外光在透明材料中有更好的吸收率，所以一個(gè)適用紫外激光的設(shè)想在微噴射技術(shù)領(lǐng)域被提出。
N9/k`ZGC @:zC!dR)G 一個(gè)適用于紫外波長(zhǎng)的裝置已經(jīng)建立,它使用了石英和CaF2透鏡。
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