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    [分享]光柵階次分析器 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-06-09
    摘要 i :$g1  
    2~4C5@SxL  
    光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 ie ,{C  
    <?g{Rn  
    GkC88l9z  
     !I Nr  
    光柵詳細(xì)說明 h P1|l  
    Rta P+6'X  
     onlyvH4  
    ,@;<u'1\G  
    •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 1_QO>T'  
    •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 `WT7w']NT  
    -+=8&Wa  
    光柵階次分析器設(shè)置 wf4Q}l2,d  
    {8MF!CG]  
    •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 : L>d]Hn  
    •可以指定各種輸出選項。 6{~I7!m"  
    •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 r=`>'3 } x  
    tc',c},h~,  
     O`=Uq0Vv  
    [Wh 43Z  
    常規(guī)設(shè)置 21[F%,{.),  
    ]5\vYk  
     Kv7NCpq'  
    6xe |L  
    •在“常規(guī)”選項卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 6uyf  
    •另外，可以指定是否要評估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 0d2%CsMS"D  
    >gE_?%a[  
    單個階次設(shè)置 9s)oC$\  
    V_pBM  
     -*A'6%`  
    WToAT;d2h  
    •在“單個階次”選項卡中，可以選擇是否記錄單個階次的信息。 Cw}\t!*!  
    •如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運行或參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項非常有用。 #o RUH8  
    * y B-N;I  
    單個階次設(shè)置 kYAvzuGRb  
    rBf?kDt6l  
    M@\'Y$)Y{  
    Fk(5y)  
     cOQy|v`KD,  
    DbN'b(+  
    探測器標(biāo)簽頁中的輸出 "ir*;|  
    D |o@(V  
     NP8TF*5V  
    PwW