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高質(zhì)量的掃描系統(tǒng)在許多光學(xué)應(yīng)用中具有非常重要的作用,例如在激光束焊接、鉆孔和切割等方面。這類系統(tǒng)通常由F-Theta透鏡構(gòu)成。F-Theta透鏡將光束聚焦到焦平面上,其焦點(diǎn)的橫向位移與入射光的掃描角度成正比關(guān)系。 SZ'R59Ee< 利用VirtualLab中的掃描光源,可以通過測量不同掃描角度的情況下,焦斑的側(cè)向偏移和焦斑的大小來分析F-Theta透鏡的性能。 <<5(0#y# nMUw_7Y6 一個F-Theta掃描透鏡的性能評價 ul
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