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摘要 J%
B(4` A@@Z?t. 高NA物鏡廣泛用于光學(xué)光刻,顯微鏡等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用VirtualLab對這種鏡頭進(jìn)行光線追跡和場追跡分析非常方便。通過場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,可以讓用戶深入了解矢量效應(yīng)。 T/V 5pYl S*o%#ZJN &oWdBna"_ F:8cd^d~u 建模任務(wù) F1@gYNbI, T/%s7!E K4vl#*qn 概觀 1or4s{bmo ?PIOuN=
*Mt's[8 光線追跡仿真 pP&TFy#G+' T
j7i#o •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為仿真引擎。 a&Ti44a[ 89>U Koc? •點(diǎn)擊Go! (8<U+)[tPy •獲得3D光線追跡結(jié)果。 /x6,"M[97 9:bC{n zY<=r.m4 m~fA=#l
l 光線追跡仿真 +h6cAqm] |wKC9
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