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    [分享]高NA物鏡聚焦的分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-05-19
    摘要 J% B(4`  
    A@@Z?t.  
    高NA物鏡廣泛用于光學(xué)光刻,顯微鏡等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用VirtualLab對這種鏡頭進(jìn)行光線追跡和場追跡分析非常方便。通過場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,可以讓用戶深入了解矢量效應(yīng)。 T/V 5pYl  
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    建模任務(wù) F1@gYNbI,  
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    概觀 1or4s{bmo  
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    光線追跡仿真 pP&TFy#G+'  
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    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為仿真引擎。 a& Ti44a[  
    89>U Koc?  
    •點(diǎn)擊Go! (8<U+)[tPy  
    •獲得3D光線追跡結(jié)果。 /x6,"M[97  
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    光線追跡仿真 +h6c Aqm]  
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