在相位測(cè)量輪廓術(shù)中，測(cè)量系統(tǒng)中投影儀等存在的非線性響應(yīng)大大影響了相位測(cè)量的精度，因此，如何快速高效地消除系統(tǒng)中的非線性誤差是提高測(cè)量精度的關(guān)鍵。本文建立了相位誤差的精確模型，并提出了一種基于相位誤差精確模型的相位提取方法，利用高步數(shù)相移算法預(yù)先標(biāo)定各頻譜分量的比例關(guān)系，再通過迭代運(yùn)算即可得到高精度的相位分布。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該方法可有效補(bǔ)償非線性誤差，從而大大提高相位測(cè)量精度，同時(shí)，由于各頻譜分量是通過高步數(shù)相移預(yù)先標(biāo)定的，僅三步相移即可得到高精度相位分布，滿足了快速、實(shí)時(shí)的測(cè)量要求。
