在相位測量輪廓術中，測量系統(tǒng)中投影儀等存在的非線性響應大大影響了相位測量的精度，因此，如何快速高效地消除系統(tǒng)中的非線性誤差是提高測量精度的關鍵。本文建立了相位誤差的精確模型，并提出了一種基于相位誤差精確模型的相位提取方法，利用高步數(shù)相移算法預先標定各頻譜分量的比例關系，再通過迭代運算即可得到高精度的相位分布。實驗結果表明，該方法可有效補償非線性誤差，從而大大提高相位測量精度，同時，由于各頻譜分量是通過高步數(shù)相移預先標定的，僅三步相移即可得到高精度相位分布，滿足了快速、實時的測量要求。
