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    [分享]GLAD:光刻成像系統(tǒng)的建模 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-04-29
    概述 -T{G8@V0I  
    系統(tǒng)由一個(gè)聚光鏡、一個(gè)傾斜球體和一個(gè)Schwartzchild設(shè)計(jì)的中繼鏡組成。光源成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會(huì)聚,在中繼透鏡的光瞳處形成點(diǎn)像。在中繼透鏡的瞳孔處,多條條紋圖案將形成一個(gè)中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示: ,yH\nqEz  
    @^Yr=d ba  
     掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 9A ?)n<3d  
     窄條產(chǎn)生寬的旁瓣,僅部分通過(guò)中繼入口瞳孔 \h5!u1{L  
     寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣,更容易通過(guò)中繼入口瞳孔 <d~si^*\ch  
     部分通過(guò)旁瓣會(huì)產(chǎn)生部分解析