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摘要 SFFJy RCz 6 lEv<)cC 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過(guò)全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來(lái)計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 s8' ;4z _?I*::
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