|
摘要 ;w6\r!O, Qu;AU/Q<([ 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到,對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過(guò)全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱(chēng)為RCWA)來(lái)計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 b?y1cxTT ]\3dJ^q|% 1MV^~I8Dd Viw{<VH= 光柵詳細(xì)說(shuō)明 bpU^|r^W `\.n_nM ?ke C yNN2}\[. •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 (8EZ,V: •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對(duì)話(huà)框中訪(fǎng)問(wèn)該參數(shù)。 t(_XB|AKm YInW)My.h 光柵階次分析器設(shè)置 W%$p,^@S5 <$=8'$T81 •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 TLV)mCZ •可以指定各種輸出選項(xiàng)。 om/gk4S2 •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開(kāi)分析器的編輯對(duì)話(huà)框。 Hv
IN' '$U"RP^( b<7.^ i2!{.*. 常規(guī)設(shè)置 iL\\JuY
|