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本案例計(jì)算從傳輸中得到的衍射光學(xué)元件的高度分布和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生 *{+G=d 關(guān)鍵詞：衍射光學(xué)，衍射光學(xué)元件，結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)，GDSII，ASCII，位圖 fw[y+Bi&
? 所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷(xiāo)商可申請(qǐng)一段全版本的試用。 -kbg\,PW 相關(guān)Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 @Vu(XG 建模任務(wù) c_el ShK8# bu51$s?B  \( %Y%?dy
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照射光束強(qiáng)度 衍射擴(kuò)散器 產(chǎn)生的光圖樣強(qiáng)度 H'HSD,>(
建模任務(wù) 36am-G
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&g 2 擴(kuò)散器參數(shù)： -1J[n0O. —相位層：4 fNrgdfo —像素尺寸：830*830nm 2=_g f —口徑：1*1mm +k` !QM>e- —周期：664,83*664,83um ~/*MY 2 結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進(jìn)制格式 GaSPJt 2 需要的高度分布計(jì)算 ~,*b }O 2 蝕刻掩模分解
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