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案例87.01:粗糙表面光柵的模擬 kp.|gzA6 ~Ji>[#W
K 即將模擬一個(gè)具有隨機(jī)粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵(General Grating 2D)元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來完成的。 % dYI5U89 +O,V6XRr 關(guān)鍵詞:光柵,光柵工具箱,粗糙表面,可編程光學(xué)界面,光柵元件 ~6MMErSj R'r|E_ 要求工具箱:光柵工具箱 &!4(
0u ~V!EtZG$ 相關(guān)應(yīng)用案例:案例090.01,案例246.01 L2k;f] VDPxue 一、模擬任務(wù): tI
`w;e%HN 二、光柵的描述 .5Q5\qc= RlPjki"Mg 1. 原始表面輪廓是一個(gè)平滑的正弦曲線輪廓,其周期為5μm,調(diào)制深度為468nm(使得最內(nèi)側(cè)三個(gè)級(jí)次的效率相同)。 Mi<*6j0 *P&OxVz 2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個(gè)隨機(jī)的變化,由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來模擬。 Cx$9#3\ ,I("x2 3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個(gè)物理參數(shù):最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和總高度調(diào)制(Total Height Modulation)。使用種子(Seed)變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個(gè)可再生的結(jié)果。 B>1M$3`E FyQOa)
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