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案例87.01:粗糙表面光柵的模擬 H|.cD)&eYy @TQzF-%#7 即將模擬一個具有隨機粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵(General Grating 2D)元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來完成的。 IjPCaH.:t <dD)>Y. 關(guān)鍵詞:光柵,光柵工具箱,粗糙表面,可編程光學(xué)界面,光柵元件 nF)b4`Nd Z!& u_ 要求工具箱:光柵工具箱 ? PI2X.6 @W1F4HYds 相關(guān)應(yīng)用案例:案例090.01,案例246.01 A6?!BB=]
%w3Y!7+ 一、模擬任務(wù): 9cnLf# 二、光柵的描述 N^TE
;BM *y0=sG1+D 1. 原始表面輪廓是一個平滑的正弦曲線輪廓,其周期為5μm,調(diào)制深度為468nm(使得最內(nèi)側(cè)三個級次的效率相同)。 Y'{F^VxA/ NQmdEsK 2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個隨機的變化,由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來模擬。 D}MCVNd^ W>o>Y$H 3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個物理參數(shù):最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和總高度調(diào)制(Total Height Modulation)。使用種子(Seed)變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個可再生的結(jié)果。 iW9o-W
a xXRlQ|84 4. 變量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” 1iJa
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