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案例386(1.0) AB.(CS=i {bF1\S]2 關(guān)鍵詞: 衍射光學(xué)元件、DOE、高數(shù)值孔徑,畸變補(bǔ)償,幾何畸變,枕形,桶形,強(qiáng)度衰減,功率、陡降、損耗、預(yù)備信號場、光圖形、迭代傅里葉變換算法、IFTA、模組、分束器、衍射 <64HveJ }bB`(B,m 1. 摘要 j<tq1?? [b z&nZ<ih
通過該案例闡述了如何利用迭代傅里葉變換算法進(jìn)行高數(shù)值孔徑衍射分束器設(shè)計。 ARh6V&Hi- 通過來分束器可以生成一個5x5規(guī)則的點陣圖形。 ;n#%G^!H 然而,由于偏轉(zhuǎn)角較大使得目標(biāo)平面上這個規(guī)則的5x5點陣圖案產(chǎn)生了一個形變。 a0Oe:]mo\ 可以利用VirtualLab 模塊 Mod014 在迭代傅里葉變換算法設(shè)計中預(yù)補(bǔ)償該圖形的形變。 E@QA". [JTto!Ih$ 2. 設(shè)計任務(wù):規(guī)則的5×5光束分束器 Zu<]bv lx,`hl% }dSFAKI2dM 設(shè)計衍射分束器用于在衍射元件遠(yuǎn)場生成規(guī)則的高數(shù)值孔徑光圖形。 i4Z4xTn 最大衍射角(水平/豎直):α=β=22.3° ;5|1M8]=0 最大衍射角(對角線)=30.1° Kf7WcJ4b xc'vS>& 3. 設(shè)計任務(wù) cep$_Ja Ruh)^g 光源參數(shù): yOHXY& — 高斯光源波長:532nm &m{'nRU}c — 光束直徑(1/e2):80um PE@+w#i7* 系統(tǒng)參數(shù): 4\ $3 — 衍射元件到屏幕距離:z=0.3m X} JOX9pK 期望輸出場: OOy}]uYF` — 期望點圖形:規(guī)則圖形,5×5的點陣 =_=*OEgO] — 級次間距:49.2mm Ya4?{2h@+ — 目標(biāo)圖案依據(jù)示例文件 :.IN?X “Sc386_TargetPattern_1.ca2” p6 xPheD DOE參數(shù): EZr6oO@Nc — 僅改變位相的衍射光學(xué)元件 cwtD@KC[B — 離散DOE的位相階數(shù):4 H
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