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案例386(1.0) GXjfQ~<] &f^l^K5: 關鍵詞: 衍射光學元件、DOE、高數(shù)值孔徑,畸變補償,幾何畸變,枕形,桶形,強度衰減,功率、陡降、損耗、預備信號場、光圖形、迭代傅里葉變換算法、IFTA、模組、分束器、衍射 &A)B~"[~ T[4<R 5} 1. 摘要 92d6U2T4& :
G`hm{ 通過該案例闡述了如何利用迭代傅里葉變換算法進行高數(shù)值孔徑衍射分束器設計。 '+vA\(K 通過來分束器可以生成一個5x5規(guī)則的點陣圖形。 80&.JP. 然而,由于偏轉(zhuǎn)角較大使得目標平面上這個規(guī)則的5x5點陣圖案產(chǎn)生了一個形變。 ]Xf% ,iu 可以利用VirtualLab 模塊 Mod014 在迭代傅里葉變換算法設計中預補償該圖形的形變。 >O?U=OeD I_%a{$Gjl 2. 設計任務:規(guī)則的5×5光束分束器 EG0auzW? MpqZH{:?G d/|D<Sb[s 設計衍射分束器用于在衍射元件遠場生成規(guī)則的高數(shù)值孔徑光圖形。 S:q3QgU=X 最大衍射角(水平/豎直):α=β=22.3° \nB8WSvk2W 最大衍射角(對角線)=30.1°
wm")[!h)v ;9ly'<up 3. 設計任務 Ck@J,~x1D ~7t$MF. 光源參數(shù): wTGbd — 高斯光源波長:532nm !F4@KAv — 光束直徑(1/e2):80um n?ctLbg 系統(tǒng)參數(shù): 'vq:D$A — 衍射元件到屏幕距離:z=0.3m RJH, 期望輸出場: <b?!jV7 — 期望點圖形:規(guī)則圖形,5×5的點陣 d]i(h~?_ — 級次間距:49.2mm RZ7(J — 目標圖案依據(jù)示例文件 |vMpXiMxxT “Sc386_TargetPattern_1.ca2” ~+bGN DOE參數(shù): e9Pk"HHl — 僅改變位相的衍射光學元件 uy^ — 離散DOE的位相階數(shù):4 c.f"Gv 7,MS '2nz 4. 點圖形的變形 6XJ[h )T66<UDK| 衍射元件通常是在等間距的計算網(wǎng)格上利用角譜域的迭代傅里葉變換算法完成設計。 rVa?JvDO= 對于非近軸衍射元件,衍射角和光軸上點的橫向距離之間沒有線性關系。 CWG6;NT6m 對于非近軸衍射角,期望點位置與最終獲得枕形畸變的點位置之間存在一個的差異。(下圖所示為傅里葉迭代算法設計結果,該結果未經(jīng)設計目標圖形的預補償處理)。 G #T<`>T k@D0 {z 1s*.A6EP" JwRF(1_sM 5. 生成預補償設計信號 I ?D)<, :@xm-.D 為預補償IFTA設計結果中的枕形畸變,利用模塊Mod014使IFTA文件的“期望的目標輸出"信號變形。 M9f?q.Bv 模塊Mod014根據(jù)目標平面上的空間光強分布計算波數(shù)域上的角光強分布。 ?$Wn!"EC8 因此,IFTA設計必須在角譜域上執(zhí)行。 )wtaKF.- ^*= 85iyo 6. 生成預補償設計信號 II Ty@=yA17 j9U%7u]-k ?Xo*1Z = 1 載入目標圖形 %|l8f>3[ “Sc386_TargetPattern_1.ca2” z6~
H:k1G% 2 執(zhí)行模塊Mod014。 h~,JdDV8l* 3 選擇預補償目標圖案。 g3sUl&K 4 選擇“分束器“。 oi&Wo'DX 5 使用功率校正。 YyJPHw)Z 6 輸入校正采樣距離
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