臺(tái)積電大規(guī)模購(gòu)買(mǎi)EUV光刻機(jī) 以提高產(chǎn)能保持業(yè)界領(lǐng)先地位

據(jù)TOMSHARDWARE報(bào)道，臺(tái)積電表示其部署的極紫外光(EUV)光刻工具已占全球安裝和運(yùn)行總量的50%左右，這意味著其使用的EUV機(jī)器數(shù)量超過(guò)了業(yè)內(nèi)其他任何一家公司。為了保持領(lǐng)先，臺(tái)積電已經(jīng)下單訂購(gòu)了至少13臺(tái)ASML的Twinscan NXE EUV光刻機(jī)，將會(huì)在2021年全年交付，不過(guò)具體的交付和安裝時(shí)間表尚不清楚。 (nP 6Xq  
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同時(shí)，明年臺(tái)積電實(shí)際需求的數(shù)量可能是高達(dá)16到17臺(tái)EUV光刻機(jī)。 hK=\O)  
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