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    [分享]紫外光柵偏振片的參數(shù)優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-09
    案例315（3.1） kppRQ Q*[  
    7I(t,AKJ  
    該應(yīng)用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 * |HZ&}  
     eh(Q^E;*  
    1. 線柵偏振片的原理 v\Y}(fD  
    5FSv"=  
    帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 u- [t~-(a  
    2. 建模任務(wù) tHtV[We.:  
     <8)s  
    VK'T[5e  
     全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 rh`.$/^  
     偏振元件的重要特性： [S]!+YBK  
     偏振對比度 VxN64;|=  
     透射率 Z va  
     效率一致性 0sd-s~;  
     線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬)     4$aO;Z_  
    bw<w u}ED  
    3. 建模任務(wù)： ^v!im\ r  
    x-z方向(截面)                         x-y方向(俯視圖)
    WkaR{{nM  
    4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) s$Zq/l$1x  
     .NkAD-k`  
    偏振片#1: # \; >8  
     偏振對比度不小于50@193nm波長 ^