摘要:慣性約束聚變高
功率固體
激光裝置研制對(duì)大
口徑光學(xué)元件提出了全頻段
精度控制指標(biāo)要求,以及高效率、批量 化制造需求。本文圍繞“超精密、確定性”強(qiáng)激光
光學(xué)元件全流程制造方法,總結(jié)了近幾年大口徑強(qiáng)激光光學(xué)元件超
精密制造技術(shù)取得的重要進(jìn)展,重點(diǎn)介紹了單點(diǎn)金剛石超精密切削技術(shù)、
非球面超精密數(shù)控磨削技術(shù)、確定性
拋光技 術(shù)等一系列關(guān)鍵技術(shù),以及相關(guān)
工藝及裝備在強(qiáng)激光光學(xué)元件批量制造流程線中的應(yīng)用情況。
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