介紹了光學(xué)元件的疵病類型以及疵病檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn),全面介紹了光學(xué)元件疵病檢測(cè)方法的國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀。歸納出目前光學(xué)元件的疵病檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)和檢測(cè)方法的發(fā)展趨勢(shì)及關(guān)鍵技術(shù)。分析表明,目前已有的疵病檢測(cè)方法中還缺乏一種檢測(cè)手段可以做到對(duì)所有類型疵病實(shí)現(xiàn)所需精度的檢測(cè),并且由于視場(chǎng)受限、難以定量等技術(shù)障礙而無法建立高效、自動(dòng)化的檢測(cè)分析設(shè)備。 @tj0Ir v
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