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光學元件的疵病檢測及現(xiàn)狀
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光學元件的疵病檢測及現(xiàn)狀
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樓主
發(fā)表于: 2020-08-28
關鍵詞:
光學元件
疵病
介紹了
光學
元件
的
疵病
類型以及疵病檢測
標準
,全面介紹了
光學元件
疵病檢測方法的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀。歸納出目前光學元件的疵病檢測標準和檢測方法的發(fā)展趨勢及關鍵技術。分析表明,目前已有的疵病檢測方法中還缺乏一種檢測手段可以做到對所有類型疵病實現(xiàn)所需
精度
的檢測,并且由于
視場
受限、難以定量等技術障礙而無法建立高效、自動化的檢測分析
設備
。
K7q