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    [推薦]Macleod中雙面鍍膜的模擬 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-08-12
    傳統(tǒng)意義上,Essential Macleod的設(shè)計(jì)是由一系列完全干涉的薄膜組成,并只在基板的一側(cè)形成膜層。而Stack是由一組膜層和基板組成,基板的兩個(gè)面是平行的,以便在相同材料中傳播角度相同。Stack中,膜層被介質(zhì)(或基底)分開(kāi),介質(zhì)(或基底)由其材料和厚度定義。入射介質(zhì)和出射介質(zhì)是半無(wú)限的,但其它介質(zhì)的厚度都是有限的。另一方面,膜層是繼續(xù)支持完全一致性,即完全干涉。這通常是真實(shí)膜層和基底的情況,即考慮基板后表面反射或者鍍膜的情況。 Hs`#{W{.  
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    為什么介質(zhì)或基板不支持干涉?這是一個(gè)系統(tǒng)問(wèn)題;宓暮穸韧ǔR院撩锥皇納米來(lái)測(cè)量,因此路徑差異非常長(zhǎng)。入射角、波長(zhǎng)和厚度的微小變化,雖然對(duì)路徑差異的比例效應(yīng)很小,但對(duì)它們所代表的相位變化有很大影響,因?yàn)樵S多波長(zhǎng)都涉及到這些路徑差異。當(dāng)各種光線組合在一起時(shí),干涉條紋會(huì)被沖掉,只留下總的輻照度。在單個(gè)設(shè)計(jì)文檔時(shí),我們總是假設(shè)使用完全準(zhǔn)直的單色光,其中入射角和波長(zhǎng)變化的相應(yīng)影響通常很小,可以忽略不計(jì),從而在設(shè)計(jì)中存在完全相干效應(yīng)。 `_g?y)  
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    圖1.基板足夠厚時(shí),無(wú)需考慮干涉效應(yīng)。如果考慮基板的干涉,要將基板看成一層薄膜,而整個(gè)系統(tǒng)看作一個(gè)膜系
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    另一個(gè)問(wèn)題是,如果角度或波長(zhǎng)的變化仍然較大,即使設(shè)計(jì)中的層也顯示出減少的干涉效應(yīng),那么會(huì)發(fā)生什么,什么叫做部分相干?此工具存在于Stack文檔中。計(jì)算參數(shù)包括光中缺少準(zhǔn)直性(以圓錐半角表示)和缺少單色性(以光譜帶寬表示)的影響。這些在Design文檔中不可用(除非在Stack中設(shè)置,稍后將介紹)。 c>WpO