摘要：離軸照明是現(xiàn)代投影光刻中的一種重要的分辨率增強技術。針對不同的照明模式要求，提出了一種利用自 由曲面來實現(xiàn)離軸照明的方法。根據(jù)入射面和目標面之間的坐標拓撲和能量守恒關系，利用數(shù)值求解法得出自相 應的折射式自由曲面并對結果進行模擬，分別設計了環(huán)形、二極和四極照明，照明效率均達到90%以上，照明均勻 性均優(yōu)于93%。結果表明，可以滿足193nm投影光刻照明系統(tǒng)的設計要求。 g<oSTA w
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關鍵詞：光學設計；自由曲面；投影光刻；分辨率增強；照明；光束整形
