ASML首款用于5nm制程的多光束檢測工具問世

發(fā)布：cyqdesign 2020-06-02 10:33 閱讀：1858

處理器廠商開發(fā)、設(shè)計和制造新的處理器，其中一個重要的方面是計量學(xué)，它對整個過程中的制造步驟進(jìn)行分析，以確保你想要發(fā)生的事情是實(shí)際發(fā)生。計量學(xué)可以讓制造廠識別機(jī)器是否正常工作，也有助于對最終產(chǎn)品的表征，即通過禁硅片的某些電壓/頻率或分選，如果硅片特別差，可以在循環(huán)中提前丟棄，從而節(jié)省資金和時間。

如同制造過程中的許多其他步驟一樣，在晶圓廠內(nèi)，計量是一個時間和空間密集型的工作。正如更好的光刻機(jī)轉(zhuǎn)向EUV目標(biāo)一樣，既能實(shí)現(xiàn)更小的特征，又能加快每片芯片的加工時間，計量的主要目標(biāo)是準(zhǔn)確的報告，這些機(jī)器的吞吐量提高，意味著在任何給定的運(yùn)行中都需要更少的機(jī)器，工藝節(jié)點(diǎn)步驟之間的延遲可以縮短。

ASML公司宣布其多光束檢測工具生產(chǎn)線有了重大發(fā)展。新的eScan1000將單光束掃描過程轉(zhuǎn)移到九光束掃描過程中，ASML聲稱，對于在線缺陷檢測應(yīng)用，這類工具的吞吐量提高了600%。該工具適用于當(dāng)前生產(chǎn)的所有主要工藝節(jié)點(diǎn)以及5nm及以上。

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