ASML首款用于5nm制程的多光束檢測工具問世

處理器廠商開發(fā)、設計和制造新的處理器，其中一個重要的方面是計量學，它對整個過程中的制造步驟進行分析，以確保你想要發(fā)生的事情是實際發(fā)生。計量學可以讓制造廠識別機器是否正常工作，也有助于對最終產品的表征，即通過禁硅片的某些電壓/頻率或分選，如果硅片特別差，可以在循環(huán)中提前丟棄，從而節(jié)省資金和時間。 zsp%Cz7T  
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如同制造過程中的許多其他步驟一樣，在晶圓廠內，計量是一個時間和空間密集型的工作。正如更好的光刻機轉向EUV目標一樣，既能實現(xiàn)更小的特征，又能加快每片芯片的加工時間，計量的主要目標是準確的報告，這些機器的吞吐量提高，意味著在任何給定的運行中都需要更少的機器，工藝節(jié)點步驟之間的延遲可以縮短。 x7S\-<8  
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ASML公司宣布其多光束檢測工具生產線有了重大發(fā)展。新的eScan1000將單光束掃描過程轉移到九光束掃描過程中，ASML聲稱，對于在線缺陷檢測應用，這類工具的吞吐量提高了600%。該工具適用于當前生產的所有主要工藝節(jié)點以及5nm及以上。 uSfHlN4l
 
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該公司解釋說，新的eScan1000工具包含一個電子光學系統(tǒng)，可以將一束主光束分成多個光束，同時還可以收集和處理這些次要光束的結果。該工具將串擾限制2%以下，以保持成像質量，并使用高速模式提高了整體的吞吐量，新的計算硬件加速處理小束數(shù)據(jù)的速度比以前更快。此外，該工具還可在一定范圍的光束電流下，分配給它用于物理缺陷檢測和電壓對比檢測。ASML宣傳說，它擁有一個專有的數(shù)據(jù)庫，在缺陷檢測能力方面表現(xiàn)出色，能發(fā)現(xiàn)更多傳統(tǒng)計量方法所遺漏的缺陷。 ?Bf>G]zx  
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據(jù)消息稱，ASML已經在過去一周內將首臺eScan1000系統(tǒng)運往硅谷某特定客戶，在客戶現(xiàn)場進行初步測試和鑒定。但沒有說明客戶是誰。ASML預計將擴大eScan1000設備的范圍，以滿足客戶的特定需求，并表示將繼續(xù)開發(fā)具有更多光束和更廣泛的光束分辨率的多光束技術。鑒于該工具的重要性，我們可能會在今年晚些時候的某個行業(yè)活動中看到路線圖。 .OdtM Xy  
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