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摘要 _C$X04bU3V -?z\5z 可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描,以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 7]Rk+q2: N2Ssf$ 'fn$'CeM( 傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) zSXA=
)NIv "Q 建模任務(wù) ke]Yfwk R$d7\nBG ?-,6<K1 0X>T+A[E 單次FMM仿真結(jié)果 =)
}nLS3t $@.jZ_G pV=@sz,G `*k@4.J{ 參數(shù)掃描(1D) SY T$3|a !^?qU;| V{ |[oIp " #v%36U 參數(shù)掃描(2D) +?AW>&68y [0!{_E)< ,hvc``j
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