摘要：Nanosys-300非球面曲面超精密復合加工系統(tǒng)是“九五”重點預研課題 —“非球面曲面的超精密加工與測量技術”的主要研究成果。重點對非球面曲面光學零件超精密加工機床，非球面曲面光學零件超精密加工工藝，非球面曲面光學零件超精密測量技術進行了研究。其主要技術成果有：非球面超精密復合加工系統(tǒng)綜合設計和制造技術，高速超精密空氣靜壓主軸系統(tǒng)，超精密閉式液體靜壓導軌系統(tǒng)，高速超精密空氣靜壓磨頭電主軸系統(tǒng)，開放式高性能數控系統(tǒng)集成技術等。系統(tǒng)的精度檢測和工藝實驗表明其研究水平進入了國際先進行列。 a_^3:}i~D
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關鍵詞：非球面；超精密；加工；測量
