摘要：Nanosys-300非球面曲面超精密復(fù)合加工系統(tǒng)是“九五”重點(diǎn)預(yù)研課題 —“非球面曲面的超精密加工與測(cè)量技術(shù)”的主要研究成果。重點(diǎn)對(duì)非球面曲面光學(xué)零件超精密加工機(jī)床，非球面曲面光學(xué)零件超精密加工工藝，非球面曲面光學(xué)零件超精密測(cè)量技術(shù)進(jìn)行了研究。其主要技術(shù)成果有：非球面超精密復(fù)合加工系統(tǒng)綜合設(shè)計(jì)和制造技術(shù)，高速超精密空氣靜壓主軸系統(tǒng)，超精密閉式液體靜壓導(dǎo)軌系統(tǒng)，高速超精密空氣靜壓磨頭電主軸系統(tǒng)，開放式高性能數(shù)控系統(tǒng)集成技術(shù)等。系統(tǒng)的精度檢測(cè)和工藝實(shí)驗(yàn)表明其研究水平進(jìn)入了國(guó)際先進(jìn)行列。 <zy,5IlD
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關(guān)鍵詞：非球面；超精密；加工；測(cè)量
