[分享]VirtualLab：使用傅里葉模態(tài)法分析閃耀光柵 [復制鏈接]

摘要 puOMtCI  
$Y/z+ea  
可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數運行結合使用，可以在給定的參數空間上進行掃描，以研究指定結構在不同配置下的性能。 (F'~K,0  
3\2&?VAjR  

圖片:1-20042G00011263.png

lR?1,yLp  
傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） @.e4~qz\  
IiKU=^~w  
建模任務 3@F U-k,i  
GUQ3X
F\  

圖片:1-20042G00040528.png

_~Lu%  
z7fX!'3V  
單次FMM仿真結果 1drg5