[分享]VirtualLab：使用傅里葉模態(tài)法分析閃耀光柵 [復(fù)制鏈接]

摘要 0xvMR&.H  
WcV\kemf  
可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運(yùn)行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 /6i Tq^.%  
e>ZbZy?  

圖片:1-20042G00011263.png

\F
Y/eQ*07  
傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） B` t6H  
'PmHBQvt&  
建模任務(wù) XZUB*P}]D  
iMOPD}`IX  

圖片:1-20042G00040528.png