摘要
2t9JiH SZ/}2_; 光柵的
衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。
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QU` M5{# &/%A 9R, 光柵詳細說明
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G)p pkH`qj x2-i1#j`; •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。
n^} -k'l •可以在堆棧中指定光柵
參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。
N?Wx-pK j=r aS 光柵階次分析器設置
f W /G_ qN5 ru 2 •定義光柵
結構后，可以配置光柵階次分析器。
5|T[:m •可以指定各種輸出選項。
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