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[轉載]用于光學測量的菲索干涉儀 [復制鏈接]

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離線飛躍小河

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-03-20

摘要

斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學計量設備，它們通常用于光學表面質(zhì)量的高精度測試。借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構建了一個菲索干涉儀，并利用它測試了不同的光學表面，例如圓柱形和球形。可以看出，產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。