摘要：為了解決傳統(tǒng)白光干涉測量技術中對線性位移機構的位移精度要求過高的問題，本文提出了一種全視場外差白 光干涉測量技術。該技術主要通過使用存在差頻的白光干涉信號作為光源來實現在大掃描步長和低掃描精度條件下相 干峰位置的高精度檢測。本文首先建立了白光外差干涉的數學模型，再根據數學模型提供的光強信號特性提出了整體 系統(tǒng)設計方案，然后對測量方案的可行性進行了實驗驗證。最后針對多種誤差對算法計算精度的影響進行了理論分析 和數據對比。誤差分析的結果表明：白光外差干涉測量技術提供更高的測量精度和更好的抗干擾性能，有效地降低了 傳統(tǒng)白光干涉測量對線性位移機構精度的嚴苛依賴，為光學自由曲面檢測技術提供了更多的可選解決方案。 RL($h4d9
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關鍵詞：外差干涉測量；白光干涉測量；干涉測量算法
