摘要
.Lfo)?zG Un6/e/6, 高數(shù)值
孔徑物鏡廣泛用于
光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此,在
聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。
VirtualLab非常容易支持這種
鏡頭的
光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。
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g& 建模任務(wù)
t!IaUW >CkjUZu]& HI@syFaJM 5aa<qtUjH 入射平面波
o-o'z'9 波長 2.08 nm
Uo-`>7 光斑直徑: 3mm
nVJPR 沿x方向線偏振
S/ibb& w4fW<ISg 如何進行整個
系統(tǒng)的光線追跡分析?
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