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    [分享]VirtualLab:分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-10-14
    關(guān)鍵詞: 孔徑物鏡聚焦VirtualLab
    摘要 .Lfo)?zG  
    Un6/e/6,  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 T~b>B`_  
    f-r] |k  
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    [CAR[ g&  
    建模任務(wù) t!I aUW  
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    HI@syFaJM  
    5aa<qtUjH  
    入射平面波 o-o'z'9  
    波長 2.08 nm Uo-`>7  
    光斑直徑: 3mm nVJPR  
    沿x方向線偏振 S/ibb&  
    w4fW<ISg  
    如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析? "]